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真空泵為滿足各種性能需要，在真空泵殼體材質選擇上也會有諸多要求，尤其是一些工作介質環境較為惡劣的場合。那具體的殼體材質又有哪些，都有些什么要求呢？ 

真空泵材料種類眾多，如金屬合金、陶瓷、橡膠塑料、玻璃石英、炭纖維等等。而真空泵殼體材質主要是兩大類：金屬和玻璃。

金屬作為真空殼體材質主要包括鐵、銅、鋁為基礎的金屬及各種合金，如低碳鋼、不銹鋼、無氧銅、紫銅、鋁以及覆鋁、銅、鎳的鋼或鐵材。它們擁有良好的機械強度與可加工性，各種金屬材質針對不同的真空應用特點，有各異的性能與出氣率表現。具體可查詢各類金屬合金的物理機械性能表。

而玻璃則主要用于一些玻璃真空系統（如玻璃擴散泵、閥）、觀察窗以及一些規管外殼、高壓電極絕緣體等，具有透明、價格低、易加工、絕緣等優點，缺點就是強度低易碎。玻璃的種類也較多，根據軟化溫度與膨脹系數的不同，有軟玻璃、硬玻璃以及石英玻璃的區分，性能各異。

無論是金屬或是玻璃，真空泵殼體材質需要具備：一定的機械強度與剛度，能保證在常溫與烘烤溫度下承受大氣壓力，并且不發生變形；良好的氣密性，不存在多孔結構、裂縫及其他滲漏等缺陷；較低的出氣速率與滲透速率；工作溫度與烘烤溫度下的飽和蒸氣壓低；化學穩定性好，不易氧化和腐蝕，也不會與系統中的工作介質發生法應；溫度穩定性好，在一定溫度范圍內能保持其真空性能與力學性能；易加工，有較好的焊接性能，良好的經濟性。