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一、滑閥式真空泵概述

滑閥式真空泵，全稱滑閥式油封機械真空泵，簡稱滑閥泵，同旋片泵一樣，是一種變容積式氣體傳輸泵，其應用范圍和使用條件也與旋片泵基本相同。

滑閥式真空泵由于其結構特點，容量比旋片式真空泵大得多，因此更多地應用與大型真空設備上。滑閥式真空泵的基本類型也分為單級與雙級兩種類型。其中單級泵中的小泵極限壓力一般不大于0.6Pa，大泵大不大于1.3Pa（均關氣鎮）；雙級泵的極限壓力不大于0.06Pa（關氣鎮）。抽速大于150L/s的滑閥式真空泵多采用單級形式。

由于滑閥式真空泵旋轉質量有較大偏心，沒有好的質量平衡，在運轉時會產生較大振動。同時由于滑閥泵的旋轉質心運動軌跡是復雜的封閉曲線，因此很難實現對滑閥泵慣性力的完全平衡。這就限制了滑閥式真空泵的轉數，一般控制在350～600r/min，個別的可達到1000r/min以上。

二、滑閥式真空泵的工作原理與結構

1、滑閥式真空泵的工作原理

滑閥式真空的主要結構包括泵體、偏心輪、滑閥組件和導軌等，干式螺桿真空泵廠家珂勒曦以圖例的方式為大家展現其簡易工作原理。

 最全面滑閥式真空泵知識大解析

圖一：簡易滑閥式真空泵工作原理圖

如圖，與泵腔同心的驅動軸帶動偏心輪旋轉，偏心輪帶動滑閥環運動，使滑閥桿在導軌上下滑動和左右擺動。滑閥將泵腔分成A、B兩個部分。當驅動軸按圖中所示方向轉動時，A腔容積增加，壓力降低，氣體經入口、滑閥桿（A腔一側開口）進入A腔，此時處于吸氣過程。滑閥繼續順時針向左上位置運轉，A腔容積達到最大時，進氣口與A腔隔絕，吸氣過程結束，與此同時，B腔容積處于不斷的減小、壓縮氣體的過程。當B腔氣體壓力達到排氣壓力時，推開油封的排氣閥，開始排氣。當滑閥處于正上方的位置時，排氣結束（A腔容積也處于最大），新一輪的循環過程開始。

2、滑閥式真空泵的結構特點

如圖一所示，滑閥式真空泵的主要結構包括了泵體、偏心輪、滑閥環、滑桿、導軌等一系列組件。與旋片式真空泵類似，滑閥泵也設有氣鎮閥，氣鎮孔開在排氣口附近或端蓋上，以排除含可凝性蒸氣的氣體，并在泵出口設置有油氣分離器，減少泵油的損耗和對環境的污染。

下圖是典型的滑閥式真空泵結構圖。

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典型的滑閥式真空泵結構圖

除了單雙級的區分外，滑閥式真空泵還有單缸、雙缸、三缸的區分，其中三缸滑閥泵較好地解決了滑閥的質量平衡，使泵的振動得到了較好改善，轉速也相對較高。

三、滑閥式真空泵的應用要點

滑閥式真空泵與旋片式真空泵一樣可單獨使用，同時也可作為擴散泵、油增壓泵、羅茨泵等真空泵的前級泵使用，與旋片泵相比滑閥泵更為耐用，在真空鍍膜、真空熱處理、真空燒結、分子蒸餾、航空模擬實驗的領域使用較多。但在遇含水蒸氣、粉塵等介質環境，需加裝過濾裝置，也無法用于易燃易爆氣體環境以及壓縮輸送氣體。同時受限于油封式機械真空泵的特點，在一些清潔環境領域，如半導體、石化等，適用性不及一些干式真空泵。

四、滑閥式真空泵噪聲來源和解決方法

 機械撞擊噪聲是滑閥泵噪聲的主要成分。滑閥泵在正常運轉過程中，滑閥與泵體內壁（進氣側的大、小缸交接處）會發生機械撞擊而產生強烈的機械撞擊噪聲。影響機械撞擊噪聲的因素：泵體與滑閥環之間的間隙、偏心輪與滑閥環之間的間隙、泵軸心與泵體大缸中心的偏移量等。在設計上通常會調整撞擊部位的間隙，減輕甚至消滅撞擊，從而降低滑閥泵的機械撞擊噪聲。

1、液體撞擊噪聲、氣液排放噪聲是泵噪聲的重要成分。

滑閥泵在壓縮過程中，滑閥帶動泵油高速沖向排氣孔附近的泵缸內壁和滑閥桿，產生強烈的液體撞擊噪聲。并且在滑閥泵排氣過程中由于潤滑油和氣體高速通過排氣流道時會產生強烈的氣液排放噪聲。這兩種噪聲在滑閥泵排氣末段時最為明顯。要降低這二種噪聲，在設計時可以選擇較低的轉速，較小的泵缸內徑，以此來降低液體撞擊時的速度和氣液排放速度，有利于降低噪聲；在泵正常運轉時，減少進油量泵，以此來減少撞擊泵內壁的油量和排放的油量，有利于降低噪聲。氣液排放噪聲還可以通過改進排氣閥的流道，盡量增大通道面積，降低潤滑油通過排氣閥時的速度，有利于降低噪聲。

2、軸承噪聲在滑閥泵噪聲中不常見。

滑閥泵轉速較低，軸承潤滑充分，軸承正常運轉時發出的聲音極低。軸承噪聲主要指的是軸承不運轉正常時發出的噪聲。當滑閥泵內的軸承因加工、運輸和安裝過程中受傷害而存在缺陷，在正常運轉時，軸承會發出異常的“嗒嗒嗒”的聲音，這種噪聲頻率較低、聲強較弱，但明顯可聞。

3、汽蝕噪聲在滑閥泵噪聲中很少見到。對于中、大型的滑閥泵而言，泵的轉速不宜選取太高，否則容易出現汽蝕現象，降低泵的壽命。

4、油箱也是影響滑閥泵噪聲的一個因素。

鋼板焊接油箱容易引起振動；鑄鐵油箱不易產生振動，并且鑄鐵本身有吸聲效果，所以使用鑄鐵油箱可使泵的噪聲低2~3 分貝（A）。油箱內置的油氣分離器在不影響排氣壓力的情況下，可適當增加阻擋，增強消聲效果，如此也可以使泵的噪聲低1~2分貝（A）。