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  真空鍍膜設備是由很多精密的零部件所組成的，這些零部件均通過很多機械加工流程而制作出來，如焊接、磨、車、刨、鏜、銑等工藝。正因為有了這些作業，致使設備零部件表面難以避免地會沾染一些加工帶來的油脂、油垢、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下易揮發,從而對設備的極限真空造成影響。

  除此之外,這些機械加工帶來的真空污染物在大氣壓環境中吸附大量的氣體,而到了真空狀態下,這些原先吸附的氣體也會被再次釋放出來,成為限制真空系統的極限真空的一大主要因素。為此,在真空鍍膜機零件組裝之前,必須先將污染物清除掉。

  在使用真空設備過程中,其零部件還會受污染。不過這種來源的污染主要是使用條件、真空泵兩方面造成的。

  1、由于工件濺射,離子束刻蝕設備的內壁會被濺散物所污染；

  2、真空蒸發鍍膜設備的內壁會被其蒸鍍靶材材料污染；

  3、真空規管的燈絲在高溫條件下蒸發,將致使陶瓷絕緣子上形成一層薄膜,對其絕緣強度有一定的損壞,對其測量的準確性也有一定的影響；

  4、由于高溫蒸發,會使真空中的電子槍的燈絲附近表面形成一層金屬膜；

  5、經常使用真空干燥系統,該系統會受蒸發出來的物質所污染；

  6、真空鍍膜設備中的擴散泵油、機械泵油等更是一大主要污染來源,鍍膜機長期作業后,設備內部可能會形成一層油膜。

  綜上所述,設備的真空衛生涉及到真空設備、真空系統、真空工藝生產等各方面與環節,涉及到了真空鍍膜設備本身和特殊真空工藝對使用條件的要求,因此,真空設備污染是一個值得被重視的問題,因為這些污染會影響設備性能,應注意定期或隨時進行清潔作業。