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真空設備維修保養的關鍵點：

維修真空設備的關鍵點是辨別故障問題。一般情況下是真空抽不上來，原因可能有幾個，一定要弄清楚是什么緣故，或許是真空機組的抽氣能力不足，也可能是漏率偏高，又或者兩種有可能都有。這個時候，應該細心耐心觀察和記錄，從中找到故障問題。比如，抽空時間相同，而真空度偏低，這個時候關閉主閥，如真空計指針迅速下降，多數情況是真空室漏了，這個時候應先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數情況是真空機組抽氣能力不足，這個時候可將重點放在查找真空泵及閥門的問題上來，看是哪里出現了泄露，或是擴散泵油污染了，氧化了；或是前級管路密封不好，泵油不足；或是泵油乳化，軸封漏油等故障問題。

一、檢測漏率：

（1）真空設備漏點和微漏點的查找

（2）漏和外漏的查找

二、故障問題點的處理

三、維修保養時要注意的環節