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    低真空裝置如真空運輸、真空浸漬、真空過濾、真空單調、真空脫氣（鋼水處理）等要求具備作業壓力高、排量大的低真空泵抽氣機組，這種低真空抽氣機組主泵常見往復式真空泵、油封式真空泵、水蒸氣放射泵、水環泵、羅茨泵等。使用的低真空抽氣機組還需依據被抽氣體清潔情況、濕度或其它特殊要求，配備必不可少的除塵設備、單調罐等零部件。

    水蒸氣在壓縮流程中會凝聚成水滴，并與泵混和組成懸浮液，不僅會使真空度降落，也可以使泵腔與轉子生銹，破壞密封面，使泵的極限真空度降落。因此，防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。防止的措施有：

（1）選用帶有氣鎮裝置的油封機械泵；

（2）裝油分別器、離心式分別器或油水分別器，將混存水的機械泵油中止處理，處理過的油再流入泵中使用；

（3）使用吸水性強的單調劑；

（4）使用液氮冷阱，不但可以合理有效地吸附水蒸氣，與此同時還能夠阻攔機械泵油向高真空室返流。