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真空泵除主要的特性，極限壓力，流量和抽氣速率以外，還有一部分專用名詞表述泵的相關性能和參數。

1、啟動壓力。泵無受損運行并有抽氣作用時的壓力。

2、前級壓力。排氣壓力低于101325Pa的真空泵的出口壓力。

3、最大工作壓力。相應最大流量的入口壓力。在這個壓力下，泵能持續作業而不惡化或受損。

4、最大前級壓力。超出它能使泵受損的前級壓力。

5、何氏系數。泵抽氣通道面積上的實際上抽氣速率與該處按分子瀉流計算的理論抽氣速率之比。

6、壓縮比。泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。

7、返流率。泵在規定情況下作業時，與抽氣方向相對而通過泵入口的單位面積、單位時間的泵液的質量流率。

8、抽氣系數。泵的實際上抽氣速率與泵入口面積按分子瀉流計算的理論抽氣速率之比。

9、水蒸氣允許量(單位:kg/h)在正常的環境情況下，氣鎮泵在持續作業時能抽除的水蒸氣的質量流率。

10、最大允許水蒸氣入口壓力。在正常的環境情況下，氣鎮泵在持續作業時所能抽除的水蒸氣的最高入口壓力。