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為了能在停泵時防止真空泵油返到被抽容器，內置停泵防返油裝置就十分重要。 

真空泵防返油閥原理：可靠的進氣口防返油裝置，雙重保護，不返油，保證了真空系統安全。

保護一：停泵時隔離閥關閉真空系統;

保護二：停泵時關閉油路并向泵腔充氣。

真空泵運行期間，控制活塞在油壓作用下頂著彈簧保持密封。防倒吸閥的閥盤由于自重保持在較低位置(閥門開啟)。泵停機后，油壓下降，彈簧將控制活塞向上頂。這樣就在油箱與防倒吸閥的活塞之間形成了一個通路。以上為真空泵防返油閥原理的介紹，對比用彈簧來控制防返閥的真空泵，防返油效果更好，故障率較低，維修更加簡單。