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1、工作蒸汽及其干度

蒸汽壓力偏低及壓力波動均對真空泵的能力有較大影響，因此蒸汽壓力不應低于要求的工作壓力，但所用真空泵結構設計已定型，過多提高蒸汽壓力并不會增加抽氣量及真空度。另外，要確保鍋爐供給的蒸汽壓力穩定，最好用一臺鍋爐專門給蒸汽噴射泵提供工作蒸汽，這樣蒸汽壓力就不會出現波動，真空泵性能穩定。

蒸汽的干度對真空泵的性能也有較大影響，其中含水會引起真空波動，含水過多甚至會抽不起真空，通常的作法是在汽包前加裝汽水分離器以獲得干度較高的工作蒸汽，同時對蒸汽管路進行有效保溫。為取得最佳的工作效益，為噴射真空泵提供的工作蒸汽應為5℃～10℃的過熱蒸汽。特別是五級泵，對蒸汽的品質要求非常高，含微量水分都可能引起噴嘴的冰塞，造成開第五級噴射器真空度反而下降或沒有作用。

2、循環冷卻水

冷卻水供量不足，冷凝器會發熱，氣流聲音變大，真空度迅速下降，甚至蒸汽會返入抽氣管。對于列管間冷式冷凝器，應保證供水壓力為0、2MPa，供水量應比實際的用量稍微大一點，這樣用水的波動會比較平穩。另外，為避免供水量不穩定而引起真空波動，中環真空泵認為最好采用單獨的循環水系統對真空泵的冷凝器進行供水。

冷卻水溫太高，真空泵能力會下降，有時甚至抽不起真空，一般不超過32℃。另外，冷卻水溫越高，耗用的蒸汽量越多。
冷卻水質對真空泵能力的影響也是一個不可忽視的因素，如果水質差，硬度高，會造成冷凝器積垢甚至堵塞，嚴重影響熱交換性能，使蒸汽難于冷凝，從而影響真空度。所以，應保證循環冷卻水為純凈的軟化水。

3、真空泵系統密封要求

真空泵處于極限狀態時，第1級排出的水很少，有時甚至沒有。因此，第1級泵有大量水排出，可以認為是系統有泄漏。通常的漏氣原因有：墊片沒裝、裝錯或損壞，螺栓未擰緊，法蘭面損壞，焊縫有沙眼，接頭(壓力表、真空表等)未裝好。
最通用的查漏方法是整個系統通入帶壓空氣，用肥皂水涂在各處。如有泄漏，漏點會有氣泡，有時甚至能聽到泄漏的聲音。檢驗是否漏氣的最終要求是，用0、2MPa壓縮空氣對真空系統(包括泵體和大氣腿)進行汽密性試驗，24h壓力下降量不超過4、8%。

4、噴嘴

噴嘴是影響真空泵性能的重要部件，其存在的問題有：噴嘴裝錯、裝歪、堵塞、損壞、腐蝕和泄漏，不管采取何種預防措施，噴嘴的堵塞在所難免。一方面由于安裝蒸汽管道時，管道中殘存的鐵屑及焊渣會堵塞噴嘴；另一方面，真空泵系統停用時，蒸汽管道易生銹，銹斑在使用時掉落堵塞噴嘴。一般來說，第1、2級噴嘴孔徑較大，不易堵塞，最易堵塞的是第3、4、5級的噴嘴，噴嘴是否堵塞可通過觸摸泵頭和冷凝器的溫度來確認。